多弧离子真空镀膜设备

- 详细介绍: FOXIN-GD 超长高度多弧离子镀膜机型号 （高度4m以上） 性能型号 GD-1840 GD-2340 GD-2540 GD-2345 GD-2548 GD-2265 镀膜室尺寸：mm Ф1800×H4000 Ф2300×H4000 Ф2500×H4000 Ф2300×H4500 Ф2500×H4800 Ф2200×H6500 真空室结构 立式开门、吊装或卧室推车结构配置抽气系统及水冷系统 真空获得系统 维持泵+机械泵+罗茨泵+扩散泵或分子泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） 真空测量系统 一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS) 一台薄膜规(MKS) 电源类型 直流电源、中频电源、脉冲电源 （偏压电源、弧电源） 极限真空指标 空载冷态 1.0一 6.0×10-4Pa 电弧源 22台-28台 22台-28台 26台-32台 26台-32台 32台-48台 32台-48台 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 200A-300A 偏压电源 60KW/1台 60KW/1台 70KW/1台 70KW/1台 80KW/1台 100KW/1台 磁控电源 ———— ———— ———— ———— ———— ———— 工件转动方式 多轴行星式公自转、变频调速（可控可调） 工件烘烤温度 常温-至450℃可控可调（PID温控） 工艺气体 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统选配自动加气系统 氩气、氮气、氧气、乙炔等 冷却方式 水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机)或深冷系统。（客户提供） 控制方式 PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式、 供给指标 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa、 报警及保护 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。 整机总功率 165~185KW 185~200KW 200~225KW 225~245KW 245~265KW 265~300KW 输出频率 电压380V±5% ，频率50Hz（可根据客户国家用电标准配置） 设备占地面积 25~55m2 35~55m2 35~55m2 45~55m2 45~55m2 55~75m2 备注 可根据用户要求设计制造非标设备，可加装磁控溅射靶、中频孪生对靶等。