双面研磨抛光精密加工设备

主要用途： 本设备主要用于蓝宝石衬底、硅片、陶瓷片、光学玻璃、石英晶体、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光。 工作原理及和特点： 1、创新是设计的基本理念，本设备在设计时认真分析和比较了国内外同类设备的结构、控制和功能特点，综合、归纳并采用了众多用户的成功经验和合理建议。着力提高设备的技术含量、运行精度和运行平稳性。 2、采用先进的西门子产PLC程序控制器，控制整机的动作，自动化程度高，并由与之匹配的西门子Smart 700大屏幕触摸屏作界面，显示当前整机状态，实现人机对话，操作一目了然。 3、采用变频调速及全齿轮传动，使整机工作时起动平稳、运转稳定，尤其在低速运转时，克服了上、下研磨盘的窜动、爬行现象。 4、采用亚德克生产的气动执行元件与SMC生产的气动控制元件配套，实现研磨盘分轻压、中压、重压、精研等四个阶段的压力无级调节，为磨削工件提供更出色的研磨效率及更广泛的磨削工艺选择。 5、大齿圈可以升降，且升降位置可以调节。太阳轮的高度也可以通过定期增减垫片数量进行调节。 6、减速机用杭州杰牌的，型号是150-20与075-30。 7、采用双电机和双变频驱动；产地是无锡亨达高温变频电机。主电机（9KW/1440rpm）带动上、下研磨盘和齿圈；用副电机（1.5KW/1440rpm）带动太阳轮。副电机与主电机按比例同步调速。 8、配备有自动润滑装备，对齿轮进行润滑。 9、本设备可设定和存储三十套不同的工艺参数（压力、速度、时间、圈数）供使用者选用。 10、配有主气缸端锁机构，可方便、安全锁定上研磨盘。 主要技术参数： 1）研磨盘规格：上盘Φ965×Φ395×45mm 下盘Φ965×Φ395×35mm Grinding Pan Specification: Φ965×Φ395×35mm 2）行星轮规格:Dp12 Z=152 a=20° （外径：Φ325.96） Planet Wheel Specification: Dp12 Z=152 a=20° (OD:Φ325.96) 3）放置行星轮个数n 3≤n≤6 Number of planet wheel:n 3≤n≤6 4）研磨工件厚度:b 0.3mm≦b≦20mm Workpieces ideal Thickness:b 0.3mm≦b≦20mm 5）研磨工件理想规格: Φ125 最大工件规格：对角线300mm Workpeces Ideal Dimension: Φ300 6）齿圈升降高度:35mm Geared Ring Moving Sphere:35mm 7）下研磨盘转速: 0-50rpm Lower wheel speed:0-50rpm 8）主气缸: Φ125×450mm Main ain cylinder: Φ125×450mm 9）升降气缸: Φ80×250mm Moving air cylinder: 80×250mm 10）端锁气缸: Φ32×15mm Locking air cylinder: Φ32×15mm 11）主电机:YVP132M-4 9KW Main Motor: YVP132M-4 9KW 12）副电机: YVP90L-4 1.5KW Vice Motor:YVP90L-4 1.5KW 13）砂泵电机: AB-100 250W Sand Pump Motor:AB-100 250W 14）设备外形尺寸：1690×1340×2650mm Machine Dimensions:1690×1340×2650mm 15）设备重量：方立柱2700kg/圆立柱3000Kg 主机精度： 1.下抛光盘端面跳动 2.上下抛光盘平面度 3.3.太阳轮径向跳动0.06mm 4.4.齿圈径向跳动 0.12mm 加工精度：1.修正轮修研后平行度、平面度0.0035mm 2.加工件平面度/平行度 0.003mm/φ100mm 加工能力： 1.单片承片量 8片/φ75mm,5片/φ100mm 2.整盘承片量 48片/φ75mm, 30片/φ100mm 深圳市帝研科技有限公司主营产品：单面研磨设备/双面研磨设备/平面抛光设备/3D陶瓷磨抛设备/高速减薄设备 售后服务 购买后，有专业技术人员上门安装调试，进行员工培训，确保客户正常生产，终身免费技术咨询和更新。 本司可提供免费试样服务，如有需要请咨询 深圳市帝研科技有限公司