货号: SURFIEW 6000 规格: 面议 Master 反复性、准确性、重现性极佳 框架一体型 自动镜头调整钮 优秀的Capacity Sensor 自动滤镜 缝纫功能 自动对焦功能 安装3个变焦距镜头 自动、半自动、手动测量模式 产品概要 三维表面轮廓仪利用光的干扰,可迅速,准确,并高检测性的对1nm~10mm高度的模型的表面想象进行纳米单位测量。相比接触性方式,不会对测量物造成任何损伤,相比共焦方式,高解像力无关倍率均可得到统一结果,与AFM相比,可在宽测量领域内快速测量。 高度解像力0.1nm 任何倍率下,解像力均统一 测量纳米等级 测量高速,高精密度,高解像力表现形象 可测量透明/半透明/不透明登各种样品 无需非破坏,预加工程序即可轻松测量 反复性,准确性,重现性极佳 应用领域 60002.jpg 主要特征 测量高度,长度,段差,线,圆,弧,角度,款,宽,距离 面粗糙度,线粗糙度,波形 测量划痕,磨损,缺陷 测量面积,大小 测试原理 QQ图片20180717102724 拷贝.jpg 利用光的干涉信号,将表面的形状到1nm~10cm为止,没有材料的破损,从相机中显示的全部领域,正确,检测到高强度为单位。 干涉信号是在任意义的基准点中,同时出现的光在移动到不同的场景(optical path),在移动后合上的时候,用两个场景(optical path)的物理现象,是一种明亮的明亮的形态,这是干涉信号。 精密的Piezo扫描 高度以Piezo扫描通过Capacity Sensor进行Closed Loop 整体扫描范围的0.1%呈线性 通过1次校准,2次校准,提高数据可靠性 Scan范围 Scan范围:100um,150um, 300um, 500um, 10mm 变焦镜头 变焦镜头: 0.33x,0.55x, 0.75x, 1.0x,1.5x, 2.0x 物镜 2.5x,5x, 10x, 20x, 50x, 100x 干涉镜头 干涉镜头(Michelson型) : 0.3x, 2.5x,5x 干涉镜头(Mirau型): 10x, 20x, 50x, 100x Multi滤光镜 多种滤光镜选择 调整干涉镜头 随温度变化的干涉纹样调整 操作台 真空操作台,选择操作台,Aligner操作台