氧化物镀膜材料产品种类越来越多,纯度要求越来越高,镀膜材料,我们习惯称之为膜料。我司主要供应各种蒸发镀膜材料,包括氧化镀膜材料,氟化物镀膜材料,物理气象镀膜材料,有溅射靶材,蒸发镀膜材料,喷涂材料。。。
近年薄膜的发展日新月异,对膜料也提出了更高的要求。
氧化物蒸发镀膜材料
材料名称 |
化学符号 |
纯度 |
熔点 (oC) |
密度(g/ cm3) |
透明波段 |
折射率 |
规格 |
性能 |
三氧化二铝 |
Al2O3 |
99.99% |
2045 |
4 |
0.17-9um |
n=1.6-1.65 |
半透明颗粒(1-3mm, 3-6mm),压片 (Dia10mm) |
适于电子枪蒸发,形成光滑致密膜层,抗化学腐蚀。 |
氧化锡掺氧化锑 |
(Sb:SnO2)(ATO) |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
用于镀制透明导电膜。 |
钛酸钡 |
BaTiO3 |
99.99% |
1620 |
- |
-- |
- |
白色颗粒,压片 (Dia10mm) |
-- |
三氧化二铋 |
Bi2O3 |
99.9% |
820 |
8.9 |
0.4um- |
n=2.5 |
黄色颗粒,压片(直径30或10mm) |
用热蒸发或溅射较好。蒸气有毒。 |
二氧化铈 |
CeO2 |
99.9% |
2600 |
7.3 |
0.46-11um |
n=2.2 |
浅棕色颗粒,压片(直径30或10mm) |
适于电子枪蒸发或钨舟。 |
二氧化铈 |
CeO2 |
99.99% |
2600 |
7.3 |
0.46-11um |
n=2.2 |
浅棕色颗粒(1-4mm),压片(直径30或10mm) |
适于电子枪蒸发。用于增透膜。 |
三氧化二铬 |
Cr2O3 |
99.9% |
2435 |
5.2 |
-- |
n=2.4 |
绿色颗粒,压片(直径10mm) |
适于电子枪蒸发。 |
氧化铜 |
CuO |
99.9% |
1326 |
6.3 |
- |
n=2.6 |
棕黑色颗粒,压片(直径10mm) |
适于电子枪, 热蒸发。 |
氧化镝 |
Dy2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化铒 |
Er2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化铕 |
Eu2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化钆 |
Gd2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
二氧化铪 |
HfO2 |
99.99% |
2812 |
9.7 |
0.2-9um |
n=2 |
颗粒(1-4mm),压片 (Dia10mm) |
适合电子枪蒸发,成膜致密稳定,紫外波段的优良材料 |
氧化钬 |
Ho2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
三氧化二铟 |
In2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化铟掺氧化锡 |
ITO(In2O3:SnO2 / 9:1/ 95:5 |
99.99% |
1565 |
7.1 |
0.34-9um |
n=2 |
浅黄色颗粒(1-4mm),压片 (Dia10mm,直径12mm) |
用于镀制透明导电膜,电热膜,防红外,紫外线,微波膜。可配成不同比例材料。适用于钨舟,铂舟,电子枪蒸发。 |
三氧化二铁 |
Fe2O3 |
99.9% |
1565 |
5.24 |
- |
n=2.75-2.9 |
红棕色颗粒,粉末,压片 |
适于电子枪和热蒸发。 |
四氧化三铁 |
Fe3O4 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化钆 |
Gd2O3 |
99.9% |
2350 |
7.4 |
0.22-9um |
n=1.7-1.8 |
白色颗粒,压片(直径10mm) |
适于电子枪蒸发,蒸发时易失氧.膜层光滑牢固. |
铝酸镧 |
LaAl2O3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
铌酸镧 |
LaNbO3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
钛酸镧 |
LaTiO3 |
99.9% |
2200-2300 |
- |
0.3-9um |
n=1.9 |
深灰色颗粒(1-5mm) |
适于低温基片镀制多层膜。 |
氧化铅 |
PbO |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
钛酸铅 |
PbTiO3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
锆酸铅 |
PbZrO3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化镨 |
Pr6O11 |
99.9% |
2272 |
7.2 |
0.4-2um |
n=1.8 |
浅紫色颗粒,压片(直径10mm) |
适于电子枪蒸发. |
铌酸铅 |
LiNbO3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化镥 |
Lu2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化镁 |
MgO |
99.9% |
2800 |
3.58 |
0.23-9um |
n=1.7 |
白色颗粒(1-4mm),切片 (5X5X5mm) |
适于电子枪蒸发或钨舟,用于PDP。 |
氧化钼 |
MoO |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
三氧化二钼 |
MO3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化钕 |
Nd2O3 |
99.9% |
2272 |
7.2 |
0.4-um |
n=1.8 |
浅紫色颗粒,压片(10mm) |
适于电子枪蒸发. |
一氧化镍 |
NiO |
99.9% |
1990 |
7.45 |
0.52um |
n=2-2.1 |
绿色颗粒,压片(10mm) |
热蒸发或溅射较好。 |
五氧化二铌 |
Nb2O5 |
99.99% |
1530 |
4.47 |
0.35-9um |
n=2.3 |
白色颗粒,压片(10mm) |
折射率高,适于电子枪蒸发,膜牢固,抗化学腐蚀。 |
氧化镨 |
Pr6O11 |
99.9% |
2125 |
6.88 |
0.4um- |
n=1.83-1.9 |
深黄色颗粒 |
-- |
二钛酸镨 |
Pr(TiO3)2 |
99.9% |
2200-2300 |
- |
0.3-9um |
n=2.2 |
深灰色颗粒(1-5mm) |
适于低温基片镀制多层膜。 |
钛酸镨 |
PrTiO3 |
99.9% |
2200-2300 |
- |
0.3-9um |
n=2.1 |
1-5mm颗粒 |
适于低温基片镀制多层膜。 |
钛锆酸铅 |
PZT(PbZrO3-PbTiO3) |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化钐 |
Sm2O3 |
99.99% |
2350 |
7.4 |
0.23 |
n=1.8 |
灰色颗粒,压片(10mm) |
适于电子枪蒸发,蒸发时失氧, 膜层光滑,致密. |
氧化锑 |
Sb2O3 |
99.9% |
656 |
5.2 |
0.3um- |
n=1.8-1.9 |
灰色颗粒,压片(10mm) |
适合于电子枪火热蒸发。蒸气有毒。 |
氧化钪 |
Sc2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
一氧化硅 |
SiO |
99.99% |
- |
- |
0.8-8um |
n=1.8 |
棕黑色颗粒(0.5-2mm, 2-8mm, 3-15mm, 15-25mm, >15mm, 粉末(325目,100目) |
适于钨舟,钼舟,钽舟,或电子枪蒸发。 |
铬掺一氧化硅 |
Cr-SiO |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
SiO2 |
99.99% |
1610 |
2.2 |
0.2-9um |
n=1.45 |
透明颗粒(1-3mm,3-5mm),白色压片(10mm) |
适于电子枪蒸发,容易蒸发, 放气量小。 |
|
钛酸锶 |
SrTiO3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
白色或灰色颗粒,压片(10mm) |
- |
锆酸锶 |
SrZrO3 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
五氧化二钽 |
Ta2O5 |
99.99% |
1800 |
8.7 |
0.35-9um |
n=2.3 |
灰白色或灰黑色颗粒(1-4mm),压片(10mm) |
折射率高,膜层牢固,抗化学腐蚀,适于电子枪蒸发。 |
氧化铽 |
Tb4O7 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化铥 |
Tm2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
三氧化二钛 |
Ti2O3 |
99.9% |
1750 |
4.93 |
0.4-12um |
n=2.2-2.3 |
黄色颗粒,压片(直径30或10mm) |
重氧蒸发易操作,成膜致密。不充氧蒸发可得彩色膜,用于人工宝石制造。适于钨舟,钽舟或电子枪蒸发。 |
五氧化三钛 |
Ti3O5 |
99.9% |
1880 |
4.57 |
0.4-12um |
n=2.2-2.3 |
黄色颗粒,压片(10mm) |
重氧蒸发易操作,成膜致密。不充氧蒸发可得彩色膜,用于人工宝石制造。适于钨舟,钽舟或电子枪蒸发。 |
一氧化钛 |
TiO |
99.9% |
1750 |
4.93 |
0.4-12um |
n=2.2-2.3 |
黄色颗粒(1-4mm),压片(直径30或10mm) |
重氧蒸发易操作,成膜致密。不充氧蒸发可得彩色膜,用于人工宝石制造。适于钨舟,钽舟或电子枪蒸发。 |
二氧化钛 |
TiO2 |
99.99% |
1800 |
4.29 |
0.36-9um |
n=2.3 |
白色或灰色颗粒,压片(直径30或10mm) |
适于电子枪蒸发,膜层致密,牢固,抗化学腐蚀。灰色料比白色料易蒸发,但需充氧。 |
二氧化钛 |
TiO2 |
99.9% |
1800 |
4.29 |
0.36-9um |
n=2.3 |
白色或灰色颗粒,压片(直径30或10mm) |
适于电子枪蒸发,膜层致密,牢固,抗化学腐蚀。灰色料比白色料易蒸发,但需充氧。 |
氧化钨 |
WO3 |
99.9% |
1473 |
7.1 |
0.36-10um |
n=1.65 |
黄色或浅蓝色颗粒,压片(10mm) |
可用于镀制变色膜。 |
氧化钨 |
WO2.9 |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
五氧化二钒 |
V2O5 |
99.9% |
690 |
3.36 |
0.56-7um |
n=2.3 |
淡黄色颗粒 |
-- |
氧化钇 |
Y2O3 |
99.99% |
2680 |
4.8 |
0.23-9um |
n=1.8-1.9 |
白色颗粒(1-4mm),压片(10X3mm) |
适于电子枪蒸发,蒸发时易失氧. 成膜光滑牢固. |
氧化镱 |
Yb2O3 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
ZnO |
99.9% |
1473 |
7.1 |
0.36-10um |
- |
白色颗粒/压片(Dia 30,10mm) |
可用于制作导电膜。 |
|
氧化铝 掺氧化锌 |
AZO(ZnO:Al2O3) |
99.9% |
1975 |
5.6 |
0.4-16um |
n=2 |
白色颗粒/压片(Dia 30,10mm) |
可用于制作导电膜。 |
氧化钆掺氧化锌 |
GZO(ZnO:Gd2O3) |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化铟掺氧化锌 |
IZO(ZnO:In2O3) |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
二氧化锆 |
ZrO2 |
99.9% |
2700 |
5.5 |
0.25-9um |
n=1.95-2.05 |
白色或者黑色 颗粒(0.5-2mm, 1-3mm),压片(直径10X3, 直径18X8mm,直径24X14,直径30X10m) |
放气量小,适于电子枪蒸发,膜层致密,牢固,抗化学腐蚀。用于多层膜。 |
二氧化锆 |
ZrO2 |
99.99% |
2700 |
5.5 |
0.25-9um |
n=1.95-2.05 |
白色或者黑色 颗粒(0.5-2mm, 1-3mm),压片(直径10X3, 直径18X8mm,直径24X14,直径30X10m) |
放气量小,适于电子枪蒸发,膜层致密,牢固,抗化学腐蚀。用于多层膜。 |
二氧化钛掺二氧化锆 |
TiO2:ZrO2 |
99.99% |
- |
- |
- |
n=2.05-2.15 |
白色或者灰色,颗粒/压片(Dia10mm) |
折射率比氧化锆高,易蒸发,成膜致密稳定. |
氧化钇稳定氧化锆 |
YSZ(ZrO2:Y2O3) |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
氧化硅掺氧化锆 |
ZrO2 SiO2 |
99.99% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
La0.67Sr0.33MnO3 |
LSMO |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |
- |
IGZO |
99.9% |
- |
- |
- |
- |
颗粒,粉末,压片 |
- |