仪器特性:
◆该系统配备一款通用型落射照明器,它可以满足各种观察需求,如
明场、暗场、简易偏光、DIC以及落射荧光,根据工件或观察目的,
可以选购高亮度12V-50W卤素灯光源和白色LED光源;
◆这是一个基于一个不仅能测量长度,还能通过目镜的观察来检查表
面的处理状态或其它要素的显微镜的高附加值系统;
◆带有闪烁控制的新光学系统可在大视野范围内产生清晰的正像(2X
与常规产品相比,减少了80%的闪烁);
◆在一台显微镜中集成了金相显微镜和测量显微镜的功能,能提供高
分辨率观察和高精度测量;
◆在立柱两侧标准配Z轴粗/微调手柄,可进行精确调焦和观察测量;
◆可选配视像装置等多种选件,使标准测量显微镜更具魅力。
应用:半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板(LCM)、MEMS、晶片级CSP、硬盘滑行磁头。
技术参数:
仪器型号
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QI-U400
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QI-U800
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MM-U400
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MM-U800
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X Y测量行程
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4*4 8*4
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8*6 12*8
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4*4 8*4
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8*6 12*8
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Z轴调焦
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150mm
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150mm
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150mm
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150mm
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载重量
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15Kg
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15Kg
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15Kg
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15Kg
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分辩率
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0.001/0.0005/0.0001mm
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测量精度
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(2.5+L/200)um,L=测量长度(单位:mm)
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镜头
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三目镜筒:目镜带十字线物镜10X 四孔物镜转换器:5X、10X
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放大倍率(选配)
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光学放大倍率0.7-4.5X,影像放大倍率19-180X
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影像系统(选配)
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高解析度台湾敏通1/2″彩色CCD摄像头/高解析度日本WATEC 1/2″彩色CCD摄像头
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重复性
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2um
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操作方式
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手动
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外形尺寸
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1000*600*1400mm
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1200*720*1600mm
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1000*600*1400mm
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1200*720*1600mm
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机身重量
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100kg
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120kg
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100kg
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120kg
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工作台底座
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工作台铸铁采用天然失效处理,配合瑞士进口SCHNEEBERGER导轨
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最大工件高度
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170mm
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轮廓照明
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LED DIA Illuminator (LED底部光源)
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表面照明
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LV-HL50W 12V50W-LL Halogen Lamp(卤素灯泡) / 环形LED照明
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电源
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TE-PS100W Power supply (100-240v)电源
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