- 价格范围:35000
- 供应数量:100
- 所在区域:北京
- 产品类别:
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- 发布时间:2015-02-14 02:40:35
- 北京研拓科技有限公司
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产品简介
由北京吉兆源科技研制成功的 国产射频自动匹配器, 可直接替代国外产品。因为手动匹配器是要不断地手动调整匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求,而自动匹配器则可以弥补这一缺陷,自动匹配器与电源完全独立,可配置国产、进口任何品牌的射频电源。节约射频系统成本。
描述:
功率:10-600W 频率:13.56M
系统采用高速的匹配算法,使系统在接近匹配点时减速,即使是高Q值的系统也能达到精确的匹配效果。可替代进口匹配器。与国产电源配合使用,匹配良好。匹配器标准配置采用可调的L型匹配网络,满足绝大部分负载要求,也可根据客户负载阻抗设计配制匹配网络,实现自动匹配。
技术指标:
主要功能特性
频率 13.560MHz
传输功率 600w
反射功率 <10w
最大负荷电流 10ARMS
最大负荷电压 2000VRMS
传输效率 >90%
RF输入连接器 UHF(或N-type), female
RF输出连接器 L7/16, UHF(或N-type),可自定制
直流偏置电压检测值 0~2500VDC
匹配时间 3~5s
主电容 空气电容
可匹配阻抗实部范围 0~500Ω
可匹配阻抗虚部范围 -j200~~+j200
接口与冷却方式
控制接口 232或485 接口 ,模拟接口0-10V
冷却方式 风冷
电源
AC电源 220VAC ,电流:0.5A
AC频率 50/60Hz
机械特性
重量 10kg
尺寸 300mm(D)x320mm(W)x133mm(H),或可自定制
主要功能:
可以单独工作, 配任何品牌射频电源
可配合本公司电源, 实现位置指示,手动自动控制.
可以预设电容位置作为起始点,使在等离子体点火前,系统处于最有利于点火的位置,点火后自动调节位置达到匹配状态。
范围和匹配中心点可调,有利于更加精确、快速达到匹配状态
可通过数字接口与计算机通信(采集入射功率、反射功率、偏压等参数),并且可以计算机调控电容位置、设置匹配器内部参数等
结构紧凑,体积小
联系地址:北京海淀区永丰基地新材料创业大厦
邮政编码:100094 联系人:李树瑜
电话:010-58711816 传真:010-58711819
网址: www.gmpower.com ,射频电源.com ,射频电源.net
通用网址: 射频电源
邮件地址: my-yes@163.com