金属腐蚀清洗台招标公告

时间:2014-07-22 19:55:37 来源：安装信息网

所在区域：	江苏省江苏省	招标业主/代理：	/苏州市创杰招投标咨询服务有限公司
加入时间：	2014.07.21	截止时间：	2014.08.05

苏州市创杰招投标咨询服务有限公司受采购单位委托，就其单位需要的下列设备进行询价采购，欢迎具有能力提供所要采购正品货物并且具备足够技术保障能力的生产商或供应商参加响应。

一、采购内容：

序号	名称	具体要求	数量/单位	备注
1	金属腐蚀清洗台	详见附件	1台

二、质量、技术、售后服务要求

1．满足技术参数、配置（功能）要求。

2．所有报价产品应是全新的、未使用过的、原包装未拆封的正品商品，完全符合采购规定的质量、规格和性能的要求并符合国家质量标准；其质量及各项技术标准应当符合国家相关产品标准或行业标准，并符合出厂检验标准；非标准设备按询价响应文件约定的技术要求和规范。

3．询价响应单位应保证提供的设备为全新、未使用的符合国家质量标准的合格正品。询价响应单位应保证其提供的设备在正确安装、正常使用和保养条件下，在规定的使用寿命期内具有满意的性能。

4. 若采购项目中设备在政府采购协议供货目录内的产品则必须选用在协议供货范围内的品牌规格、必须报产品单价，且不得超过江苏省省级最新一期的政府采购协议供货价格（查询网址：http://www.zfcg.suzhou.gov.cn/szzfcg/xygh/）。

5.交货期：签订合同后2个月内全部交货并按采购方要求安装调试到位。

6.知识产权：供方应保证需方免除且供方承担由于需方在其本国使用该设备或设备任何一部分时而引起第三方提出的侵犯其专利权、商标权或工业设计权的起诉、行动、行政程序索赔、请求等以及需方为此而产生的损失和损害、费用和支出，包括律师费用。

三、响应报价文件组成（所有文件请逐页加盖询价响应单位公章）

1．询价响应单位经年检合格的营业执照副本、税务登记证复印件；

2．询价响应单位法定代表人身份证复印件或者法定代表人授权委托书（格式见附件）原件以及委托代理人身份证复印件（如有授权）；

3．投标产品的产地、品牌、规格、参数、技术性能等详细说明；投标产品样本（彩页）或原厂盖章的技术参数；

4.投标设备的详细配置清单及配件、消耗品清单（格式见附件）；

5．售中、售后服务承诺书（包括交货计划、质保期承诺、售后服务维修响应时间等维护体系介绍以及为采购单位作的培训计划等）。

6．询价响应报价表格式（须加盖公章和委托代理人签字或盖章）

询价响应报价表

询价采购编号：

询价响应单位名称（公章）__________

序号	品名	所投品牌、规格、型号	需方要求	偏离说明（如有偏离）	单价（元）	数量	总价（元）	交货期(注明最快交货使用日期)	注明质保期
合计

委托代理人（签字或盖章）：

委托代理人联系电话：日期：年月日

7．询价响应单位须提供产品合法代理证明（如代理商投标）。

8. 投标确认函原件（见附件格式）。

以上序号1—序号7资料如不能如实提供或提供不完整的视为无效投标。

四、递交询价响应文件及确定成交供应商日期和地点：

1．询价响应文件份数要求：正本份数为一份，副本份数为一份。各询价响应单位须按询价响应文件份数要求提交。

本次询价响应文件接收截至时间为：2014年8月5日11：00前。询价响应单位应在截止时间前将询价响应文件密封，并在文件封面注明投标编号、项目名称，并在文件封口处加盖响应单位公章后送达昆山市高新区晨丰路18号（苏州能讯高能半导体有限公司内），联系人：黄涛，联系电话：051236886888-8105，未按询价采购文件要求响应制作的询价响应文件，一律为无效投标。

2．2014年8月5日下午在昆山市高新区晨丰路18号（苏州能讯高能半导体有限公司内）进行拆封并竞标，根据成交原则确定成交供应商。成交供应商收到成交通知书后，应在三个工作日内签订合同。

五、成交原则：

在不高于采购预算的前提下，满足采购文件要求的最低报价供应商为成交供应商。

六、综合说明：

1．本次询价采购投标供应商按人民币报价。所报价格包括投标产品的供货、安装、调试、运输、仓储、发货、送货、卸货、人工、机械、保险、运费、各种税费、劳保、专利技术及质保等一切费用。询价响应单位的最终总报价中应包含上述全部费用，最终需要供方承担的费用由供需双方在合同中约定。

2．报价人应对所要采购的全部内容进行报价，只报其中部分内容的，为无效报价。

3．供方须按成交金额的0.6%在领取成交通知书时向招标代理机构支付服务费。

服务费交纳账户：苏州市创杰招投标咨询服务有限公司

账号：30100188000004892

开户银行：江苏银行苏州金阊支行

4．交货

（1）交货期：签订合同后2个月内全部交货并按采购方要求安装调试到位。

（2）交货地点：采购单位指定地点。

（3）产品交货时，包装完整无破损，还必须提供以下材料：

A、设备装箱清单

B、质检合格文件

C、原产地证明文件

D、中文标注

5．售后服务：

（1）按采购方的需求及时到货，成交单位需负责投标产品的供货、安装、调试、运输、仓储、发货、送货、卸货、人工、机械、保险、运费、各种税费、劳保、专利技术及质保等一切费用，投标产品安装过程中如发现质量问题，成交单位需负责包修、包退、包换；　

（2）保修：至少提供一年免费保修（保修期自验收合格之日起计算），保修期内免费维修，包括配件。终身维修并标明保修期后的具体维修维护事宜（提供详细的售后服务条款），要求可长期提供零部件服务。

（3）响应单位在响应文件中应详细说明其售后服务响应时间，时间安排至少应包括：响应时间；修复时间；不低于下述标准：供货方提供7×24小时的故障服务受理，接到故障电话后能保证8小时内响应故障服务，24小时内到达现场为用户解决使用中出现的技术和设备维修问题。

（4）设备验收

1）供方必须将设备按型号规格、技术参数、产地、制造商、数量、单价列出清单，并附上产品样本、技术说明、产品所采用的标准以及供货期。

2）供方所提供的产品必须附有原厂质保书和装箱单。询价响应单位必须提供产品的中文说明书，若询价响应文件所列“技术规格”与产品说明书不符，则以产品说明书为准。

3）供方在安装、调试后由业主等按国际国内有关标准和规范及验收标准要求负责该产品的验收。

6．付款步骤：

合同签订生效后，乙方提供B单据5日内，甲方电汇支付设备总价的40%作为预付款；厂验通过后，乙方提供B单据5日内，甲方电汇支付设备总价的40%作为发货款；设备安装、调试、验收通过后5日内，乙方向甲方提供如下A、B、C单据，甲方电汇支付设备总价的15%作为验收款；设备总价的5%货款在设备验收后满3个月，无遗留问题后，乙方提供B单据，甲方电汇支付。

A、甲方签收的送货回单。

B、正式的发票。

C、由甲乙双方签章的《采购合同履行验收报告》。

付款方式：银行电汇或转帐支票。

7.违约责任：

7.1如供方延期交货，除不可抗力的因素外，供方应向需方就延期交货支付违约金，具体按总价款每日0.04%支付，另外，若供方延期交货超过二周需方有权随时终止合同。

7.2需方延期付款时（有正当拒付理由者除外）应向供方支付逾期付款违约金，按逾期总额每日0.04%的标准计算。

8．询价响应单位的某些分项报价明显不合理或者低于成本，有可能影响商品质量和不能诚信履约的，应当要求其在规定的期限内提供书面文件予以解释说明，并提交相关证明材料；否则，采购单位可以取消该响应单位的成交候选资格，另行确定成交候选单位。

9．本次采购接受进口产品投标。

10. 响应单位在投标时提供的资料均应是真实的，若有虚假，由其自行承担一切后果。

11．如响应单位对本询价通知书有疑义，以书面形式向招标代理机构咨询，一切材料以招标代理机构的书面材料为准。

12．本采购信息将在苏州市创杰招标网（ http://www.cjzb.com）刊登，成交公告亦是刊登在此媒体，敬请各响应单位注意。

七、联系方式：

招标代理机构：苏州市创杰招投标咨询服务有限公司

地址：苏州市干将西路399号银海大厦303室邮编：215002

联系人：蒋艳红联系电话：0512-65238891 传真：0512-65238892

采购单位：江苏昆山高新技术产业投资发展有限公司

联系人：何采薇联系电话：0512-57517534

苏州市创杰招投标咨询服务有限公司

2014年7月21日

附件1：投标确认函（请各单位将确认函填好后在2014年8月4日17：00前传真至我公司，传真号：0512-65238892）

确认函

苏州市创杰招投标咨询服务有限公司：

我们收到贵公司号关于的询价通知书，经仔细阅读和研究，我们决定参加本次项目的投标事宜。

响应单位：（单位盖章）

法定代表人或委托代理人：（签字或盖章）

日期：年月日

联系电话：传真号：

附件2：法定代表人授权委托书

授权委托书

本授权委托书声明：我（姓名）系（询价响应单位名称）的法定代表人，现授权委托（单位名称）的（姓名）为我公司委托代理人，以本公司的名义参加苏州市创杰招投标咨询服务有限公司组织实施的编号为号的询价采购活动。委托代理人在制作询价响应文件、询价、评标、合同谈判过程中所签署的一切文件和处理与这有关的一切事务，我均予以承认。

委托代理人在授权委托书有效期内签署的所有文件不因授权委托的撤销而失效，除非有撤销授权委托的书面通知，本授权委托书自签署之日起生效开始至合同履行完毕止。

委托代理人无转委托权。特此委托。

询价响应单位：（公章）

法定代表人：（签字或盖章）

委托代理人：（签字或盖章）

日期：年月日

附件3、设备配置清单表

设备配置清单表

（参考格式）

响应单位：（公章）采购编号：号

序号

名称

品牌规格型号

生产厂家

单位

数量

备注

法定代表人或委托代理人：（签字或盖章）日期：

注：各响应单位可参照上述格式自制《设备配置清单表》投标。

附件4、设备配件、消耗品清单表

设备配件、消耗品清单表

（参考格式）

响应单位：（公章）采购编号：号

序号

名称

品牌规格型号

生产厂家

单位

数量

单价

总价

备注

法定代表人或委托代理人：（签字或盖章）日期：

注：各响应单位可参照上述格式自制《设备配件、消耗品清单表》投标。

附件5：详细需求说明书

详细需求说明书

1设备要求概述

金属腐蚀清洗台安装在无尘室内，其主要功能是对晶圆进行金属腐蚀工艺和清洗处理，工艺处理方式为手动控制。

A、设备名称：金属腐蚀清洗台 [W用1]；

B、整机尺寸(参考)：约2.0m(L) X 1.1m(W) X 1.9m(H)；

C、被清洗工件规格：4〞硅片 25 PCS/篮（145mm*125mm*120mm）；

D、产能：25 片/批；

E、节拍：0～99min 可调；

F、设备类型:手动；

2设备大致组成部分

A、骨架：国产优质SUS304骨架外包3mm厚PP-W板保护或能起到相同作用的材质；

B、外壳：12mm厚进口PP-W板焊接而成；

C、酸槽/腐蚀槽：

a) 非HF酸槽：厚度不小于4mm石英热熔焊接而成，槽体加热采用五面贴膜式加热；

b) HF槽/水槽：进口厚度不小于6mm NPP 板热熔焊接而成

D、QDR/DIW 槽：进口厚度不小于6mm NPP 板热熔焊接而成；

E、管路：管路位于机台下/后部，管道采用CL-PVC 和PPH、PFA 管路相互配合使用；

F、排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；

G、工作照明：机台顶部配防腐防爆照明；

H、DI/N2 GUN：设备配PFA可伸缩的N2 Gun 和DIW Gun各1把，分置于工设备左右两侧，水枪在左，气枪在右；

I、电器部分:采用台达或相等品牌触摸屏，日本三菱或相等品牌PLC 控制，电器元器件均采用Schneider&Omron或相等品牌；

3安全保护

A、设备整机设有防漏电断路保护装置；

B、设备管路区安装漏液检测传感器

C、设备安装EMO紧急停止按钮；

D、设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护，防腐防水；

E、电控部分正压N2保护,有效防止防腐；

F、加热器采用防腐处理，槽体安装空烧保护，过温保护，安全液位保护；

G、设备有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；

H、设备底部安装3mm厚PP防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务地板；

4设备外观、布局及工艺流程参数

4.1 设备外观

4.2 台面布局

备注：1#-5#槽体内需标记2L、4L、6L刻度线。

4.3 各槽工艺参数

序号	工序名称	槽体材质	处理方式	介质	温度	槽盖	处理时间
1#	腐蚀	石英	浸泡	酸溶液	RT~90±1°	有	可设定
2#	浸泡	NPP	浸泡	水	RT	有	可设定
3#	腐蚀	石英	浸泡	酸溶液	RT~90±1°	有	可设定
4#	腐蚀	NPP	浸泡	HF	RT	有	可设定
5#	腐蚀	石英	浸泡+鼓泡	酸溶液	RT~90±1°	有	可设定
6#	QDR	NPP	喷淋+溢流鼓泡+快排	DIW	RT	有	可设定
7#	QDR	NPP	喷淋+溢流鼓泡+快排	DIW	RT	有	可设定
8#	DIW	NPP	溢流槽	DIW	RT	有	可设定

5槽体部分详细规格参数

5.1腐蚀槽（1#）

A、数量：1 套；

B、槽体功能：浸泡

C、槽体材质：石英；

D、槽体有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、药液温度：RT～90℃可调，温控精度±1℃，温控显示精度0.1℃；

F、清洗液：酸溶液；

G、配液方式：手动配液；

H、排废液：手动排放至指定管道；

I、工艺时间：工序时间客户可在0～99MIN 内自由设定，工艺时间到，伴随声光报警提示；

J、槽盖：槽体配NPP槽盖防止停机污染；

5.2腐蚀槽（2#）

A、数量：2 套；

B、槽体功能：浸泡

C、槽体材质：NPP；

D、槽体有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、药液温度：室温；

F、清洗液：水；

G、配液方式：手动配液；

H、排废液：手动排放至指定管道；

I、工艺时间：工序时间客户可在0～99MIN内自由设定，工艺时间到，伴随声光报警提示；

J、槽盖：槽体配NPP槽盖防止停机污染；

5.3腐蚀槽（3#）

A、数量：1 套；

B、槽体功能：浸泡；

C、槽体材质：石英；

D、槽体有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、药液温度：RT～90℃可调，温控精度±1℃，温控显示精度0.1℃；

F、清洗液：酸溶液；

G、配液方式：手动配液；

H、排废液：手动排放至指定管道；

I、工艺时间：工序时间客户可在0～99MIN 内自由设定，工艺时间到，伴随声光报警提示；

J、槽盖：槽体配NPP槽盖防止停机污染；

5.4腐蚀槽（4#）

A、数量：1 套；

B、槽体功能：浸泡；

C、槽体材质： NPP；

D、槽体有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、药液温度：RT；

F、清洗液：HF；

G、配液方式：手动配液；

H、排废液：手动排放至指定管道；

I、工艺时间：工序时间客户可在0～99MIN 内自由设定，工艺时间到，伴随声光报警提示；

J、槽盖：槽体配NPP槽盖防止污染；

5.5腐蚀槽（5#）

A、数量：1 套；

B、槽体功能：浸泡+鼓泡；

C、槽体材质：石英；

D、槽体有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm ；

E、药液温度：RT；

F、清洗液：酸溶液；

G、配液方式：手动配液；

H、排废液：手动排放至指定管道；

I、工艺时间：工序时间客户可在0～99MIN 内自由设定，工艺时间到，伴随声光报警提示；

J、槽盖：槽体配 NPP矩形槽盖防止药液飞溅污染，拱起高度约为10cm (4吋 cassette与把手的整体最大高度约为30cm)，根据各个厂商的QDR槽体嵌入深度可以对槽盖拱起高度进行修改，但需要保障槽盖可以完全闭合盖上；

5.6 QDR槽（6#、7#）

A、数量：2 套；

B、槽体功能：喷淋+溢流+鼓泡+快排

C、槽体材质： NPP；

D、槽体有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm；；

E、药液温度：RT；

F、清洗液：DIW；

G、上液方式：自动（气动阀控制），进水管路采用日本旭有基材或同等品牌CL-PVC + PFA管路，保证洁净度，确保能在20s内将8L的槽体浸满纯水；

H、排液方式：自动（快排阀控制）；

I、排废水：自动（气动阀控制），废水通过独立管路排放，排放口设有5mm颗粒凸起过滤装置，确保能在5s内将8L纯水完全排出；

J、工艺流程：在触摸屏里将（喷淋+溢流+鼓泡+快排）模块化设计，每个工序时间客户可在0～99 MIN 内自由设定，并且此模块程序可以设定重复次数，以达到清洗效果，模块工艺时间到，伴随声光报警提示；

K、槽盖：槽体配 NPP矩形槽盖防止药液飞溅污染，拱起高度约为10cm (4吋cassette与把手的整体最大高度约为30cm)，根据各个厂商的QDR槽体嵌入深度可以对槽盖拱起高度进行修改，但需要保障槽盖可以完全闭合盖上；

5.7 DIW槽（8#）

A、数量：1 套；

B、槽体功能：溢流漂洗

C、槽体材质： NPP；

D、槽体有效尺寸：（L）200mm×（W）200mm×（H）200mm；

E、药液温度：RT；

F、清洗液：DIW；

G、上液方式：自动（气动阀控制），进水管路采用日本旭有基材同等品牌CL-PVC + PFA 管路，保证洁净度，；

H、排液方式：自动气动阀控制；

I、纯水回收：自动气动阀控制，从DIW 槽溢出的纯水及槽体排放的纯水通过管道引入厂务纯水回收系统；

J、工艺时间：在触摸屏里将工序时间客户可在0～99 MIN 内自由设定，时间到，伴随声光报警提示；

K、槽盖：槽体配NPP槽盖防止污染

6设备厂务配置条件

6.1 动力条件:

A、电源：380V，50HZ,3 KW；

B、纯水：CL-PVC 进口DN20 管径，0.2～0.3 MPa 压力，用量MAX:2m³/h ；

C、抽风口：φ200*1 抽风量MAX: 700m³/h ,风量口装有蝶阀，可手动调节；

D、 CDA: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:0.5 m³/h；

E、 N2: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:2 m³/h；

6.2 设备排风系统:

A、排风装置（排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计）将设备内挥发的有毒气体抽到车间排风管道

或户外（室外排放遵守国家环保要求），避免扩散到室内；

B、排风通道内设有风量导流板，从而使排风效果达到最佳；

C、风道安装可调式蝶阀，根据实际使用调节风量；

6.3 给排水/废液系统

A、给水管路为CL-PVC 由任接口，便于安装拆卸；

B、排废液系统：废液独立管道排放，设备后留有接口，可根据客户需要接入指定管道；

C、给排水排废接头均为活性连接；

6.4 电器控制系统

A、设备照明：电器柜内--防爆灯，设备其它部位--低电压灯，根据工作需要可控照明；

B、电器控制：设备安装PLC、触摸屏，各工序参数可以在触摸屏里直接设定，操作简单易学；

C、设备的主机、附件及所有附属设施应采取设备安全防护措施，具有防止意外断气、断电后，维持工作构件正确位置等安全保护措施及装置；

D、设备整体采取人性化设计，方便操作；并装有漏电保护和声光报警提示装置，保证性能安全可靠；电控

部分导线采用耐高温、耐腐蚀的专用导线，电气控制部分内部还通有N2保护；

E、设备所有处于腐蚀腔中的线缆均通过PE 管进行保护，免受腐蚀；

F、所有的电控系统均装有漏电保护器接，并有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统；

G、设备具有良好的接地装置；

6.5 设备其他要求

A、所有阀门上都标有常开、常闭的标识，所有管路上都标有液体流向的箭头；

B、在对人体有伤害的地方都做有明显警示标志，确保操作使用者安全；

C、设备上贴装铭牌，标识设备使用电源功率、重量、出产年月、联系电话；

D、设备安装活动门，方便快速维修管道、过滤器、等部件，保证生产需要；

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关键字：照明电器,江苏

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