500W国产射频电源

由北京吉兆源自行设计开发的固态射频电源，可应用于等离子体清洗、溅射镀膜、PECVD、刻蚀、医疗等领域。
具有：
1>高的可靠性和稳定性
2>大屏液晶显示，操作更加直观 
3>高效的功率输出    
4>紧凑的结构设计，体积小、重量轻    
5>完善的保护功能：过压、过流、过温、反射功率保护
6>完备的附加功能：脉冲调制、主从模式等
7>标准通讯功能：RS232 RS485 标准MODBUS协议
8>集成匹配器操作功能，使匹配器操作更加灵活方便
  50W 300W 500W 1000W
输出功率 0-50W 0-300W 0-500W 0-1000W
功率稳定度 ≤±0.5% ≤±0.5% ≤±0.5% ≤±0.5%
输出频率 13.56MHz 13.56MHz 13.56MHz 13.56MHz
频率信号 标准正玄波 标准正玄波 标准正玄波 标准正玄波
输入电压 AC180-250V AC180-250V AC180-250V AC180-250V
输入电流 1A 3A 4A 8A
输出阻抗 50Ώ 50Ώ 50Ώ 50Ώ
承受驻波比 >3.0 >3.0 >3.0 >3.0
冷却方式 风冷 风冷 风冷 风冷
通讯口 无 RS232 RS485
标准Modebus RS232 RS485
标准Modebus RS232 RS485
标准Modebus
模拟控制接口 DB15  DB15 DB15 DB15
输出接口 N  N/UHF N/UHF N/UHF
尺寸 160(宽)×300(深)×235(高)   480(宽)×350(深)×89(高) 标准2U 480(宽)×350(深)×89(高) 标准2U 480(宽)×500(深)×89(高) 标准3U
重量 5Kg 8Kg 10.5Kg 15Kg
附加功能
脉冲 无 有 有 有
脉冲频率   10-10KHz 10-10KHz 10-10KHz
占空比   1%-99% 1%-99% 1%-99%
主从模式CEX 无 有 有 有
匹配器控制   有 有 有